EDWARDS STP-A1603C 分子泵电源

2021-06-17 15:06:34

来源：深圳市天铉真空技术有限公司

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泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为10⁸～10⁹；对氢为10²～10⁴；对分子量大的气体如油蒸气则大于10¹⁰。

泵的极限压力为10^-9Pa，工作压力范围为10^-1～10^-8Pa，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10^-3m³）。

涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10^-2Pa的前级真空泵。

分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。

抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围：清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空

极限真空：10^-6/ 10^-10torr

缺点：结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高