深圳市天铉真空技术有限公司专业维修销售真空泵，分子泵，半导体激光器，流量计，真空计，AMAT半导体配件
等外延设备翻新维修
优势
• 基于PTS(Pressure，Temperature，Space)的压力传感技术
• 基于AI的压力控制技术
• 全金属耐腐蚀技术
• 高准确度及高可靠性
技术参数
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型号 |
PC100 |
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压力类型 |
绝压 |
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控制压力的满量程 |
1000Torr、1200mbar |
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耐压 |
3MPa |
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阀口满量程流量 |
2、3、5SLM |
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控制方式 |
上游 |
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温度系数 |
Zero：±0.02% of F.S./℃；Span：±0.04% of Reading/℃ |
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压力分辨率 |
0.1 Torr |
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压力控制精度 |
±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
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响应时间 |
< 1.0 S |
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工作温度范围 |
10 ℃ ～ 50 ℃ |
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机械接口 |
双卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 阳接头 |
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阀类型 |
常闭 |
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外漏 |
< 1 x 10-10(scc/sec He) |
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内漏 |
< 1.0% of 阀口满量程流量 (阀关闭时，进气端为25 psig，出气端为大气) |
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供电电源 |
+15 ～ +24 VDC(< 4 watts) |
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电气接口 |
DB-9针 |
原装进口正品，拍前请联系店主，13480966143
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