MKS MFVC-29886流量计传感器
MKS Baratron® 电容压力计具有高精度和可重复性,对气体成分不敏感,结构紧凑,并且易于与大多数工艺工具连接。我们几乎完全使用镍基合金制造隔膜压力表,例如 Inconel®、Incoloy® 等。当材料与工艺相匹配时,这使得它们高度耐腐蚀。我们的传感器在组装前经过全焊接和 100% 泄漏检查。如果隔膜发生极其罕见的故障,过程气体将完全包含在传感器内,防止逸出到外部环境。没有其他压力表或真空表能够提供这种安全级别。