mks流量计1091270-5105-D-B， 20SLM N2，Brooks SLA7840

MKS气体控制器1091270-2008-D-M，1480A-29316 1000sccm

Brooks 流量控制器SLA7850D MFC N2 1000 SCCM , VEECO PN:

AXITRON 2800 G4 MOCVD 配件流量计

Brooks SLA7850D MFC N2 1000 SCCM , VEECO PN: 10912

BROOKS SLA7850D，NH3/30SLM, VEECO PN: 1091270-2014-

VEECO PN: 1091270-1115-D-M，MKS 1480A-29315，5000SCC

VEECOMOCVD K465i/475i 各种配件，包括MKS 质量流量控制器 ，BROOKS质量

BROOKS SLA7851D，NH3/80SLM, VEECO PN: 1091270-3003-

VEECO PN: 1111662, SWAGELOK 真空变径三通，50KF+4MVCR+50KF

VEECO PN: 1091270-2128-D-M MKS P8A 500SCCM H2

VEECO K465i/475i 配件 MKS真空计DMA-28768 1000Torr

VEECO PN：1091270-2005-D-B,BROOKS SLA7850D， N2 5000

VEECO PN:1091270-4104-D-M，MKS PCA-28226,1000Torr

BROOKS SLA7840D，N2/20SLM, VEECO PN: 1091270-5105-D